檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Zone-Ching Lin".ecommittee (精準) and year="95"
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中 文 摘 要 近年來由於晶圓代工產品的多樣性及難以避免的待機時間之影響,所衍生之曝光條件的變動頻繁,因而導致半導體晶圓代工廠之微影製程技術,面臨透鏡加熱效應顯著的困擾,造成0.5μm多晶矽閘層的…
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隨著科技時代的進步,消費者的需求趨向多樣化的形態,在產品生命週期(Product Life Cycle)逐漸縮短之下,多樣少量式生產系統如零工型工廠(Job Shop)便廣為製造業應用,在生產計劃與…